實(shí)際生產(chǎn)中微觀(guān)上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此便攜式三維形貌儀的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)對(duì)三維形貌的測(cè)量可以比較全面地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

 

　　便攜式三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線(xiàn)段剖面，三維線(xiàn)路、混合和固定繪圖，用于階越高度測(cè)量的地區(qū)差異繪圖。

 

　　便攜式三維形貌儀的幾大校準(zhǔn)方法：

　　1、三維形貌校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)都和形貌測(cè)量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱(chēng)為三維校準(zhǔn)。主要包括對(duì)干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊對(duì)臺(tái)階高度測(cè)試精度校準(zhǔn)。

　　2、二維光強(qiáng)校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)和成像視場(chǎng)范圍內(nèi)的“光強(qiáng)”信號(hào)相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強(qiáng)用戶(hù)對(duì)樣品表面觀(guān)察效果。比如在某觀(guān)測(cè)模式下，可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋，更清楚地觀(guān)測(cè)表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。

　　由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強(qiáng)”，不涉及到形貌高度，所以稱(chēng)為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。

　　3、橫向校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。